Yaコートは高温耐食性を有するイットリウムとアルミニウムの複合酸化膜です。
ClF3（三フッ化塩素）による高温暴露試験において保護膜として機能していることが確認できました。
特徴
・優れた高温耐食性（400℃以上）
・硬さがCVDイットリアコートの2倍
・立体物にコーティング可能
腐食ガス高温曝露テスト（ClF3：三フッ化塩素）
試験方法
試験条件
加熱温度：600℃
ガス流量：100%ClF3 50sccm
曝露時間：10min
※試験条件での比較事例
石英ガラス：＞35μmエッチング
Si：反応熱により赤熱する（1400～1800℃）
結果
比較
硬さ（ナノインデンター）
施工条件
処理温度 ：５００℃
処理サイズ：φ１５０mm x H１５０mm
材質 ：石英ガラス、セラミックス、金属
治具の設置状況によりコーティングできない箇所ができます。